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新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX180 使用了*的保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。 模塊化 EPX180 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛德華EPX180L干式真空泵維修保養(yǎng)

iH 干泵 Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級(jí)主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計(jì)，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺(tái)單級(jí)機(jī)械增壓泵和*封閉的水冷卻電機(jī)。英國edwards愛德華iH1800干式真空泵維修

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Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級(jí)主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計(jì)，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺(tái)單級(jí)機(jī)械增壓泵和*封閉的水冷卻電機(jī)。英國愛德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修

Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。愛德華edwards半導(dǎo)體iH160干式真空泵維修