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可以通過(guò)一臺(tái)壓縮機(jī)支持兩臺(tái)泵同時(shí)運(yùn)作的方式來(lái)降低成本。適用于實(shí)驗(yàn)裝置與中規(guī)模的生產(chǎn)。日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U10H維修

高度低的緊湊式設(shè)計(jì)。裝置可以進(jìn)行小型化?？梢远嗯_(tái)運(yùn)行（大3臺(tái)）。也可以制作成其他泵的尺寸。日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U8HL維修

可以*替代CTI的低溫泵CT-8。CT-8相比氫氣的排氣性更為優(yōu)秀?？梢远嗯_(tái)運(yùn)行（大3臺(tái)）。日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U8H-U維修

輕量、緊湊、銷(xiāo)量高，低溫泵的標(biāo)準(zhǔn)。適用于實(shí)驗(yàn)裝置與小型生產(chǎn)裝置?？梢远嗯_(tái)運(yùn)行（大3臺(tái)）?？梢赃_(dá)到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U8H維修保養(yǎng)

能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。高排氣速度對(duì)于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻(xiàn)。特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。1臺(tái)壓縮機(jī)可以支持4臺(tái)低溫泵同時(shí)運(yùn)作?？梢园凑沼猛镜牟煌M(jìn)行設(shè)計(jì)、制作。日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)